基于可调谐半导体激光吸收光谱的氧气测量方法的.pdfVIP

第 卷第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 年 月 基于可调谐半导体激光吸收光谱的氧气测量方法的研究 张 帅董凤忠 张志荣王 煜阚瑞峰张玉钧刘建国刘文清 中国科学院环境光学与技术重点实验室中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽 合肥 摘 要 是工业过程中广泛应用的重要气体在工业生产环境下实现 浓度的快速在线检测对提高燃 烧效率和节能减排具有重要的意义可调谐半导体激光吸收光谱谐波探测技术是一种具有高灵敏高选择 性快速响应等特点的气体检测新技术该技术利用了半导体激光器的可调谐和窄线宽特性通过精心选择 待测气体的某条吸收线可排除其他气体的干扰实现待测气体浓度的高灵敏快速在线检测文章以可调谐 分布反馈 半导体激光器作为光源通过波长调制方法对 附近氧气某一吸 收线的二次谐波信号测量从而实现了对氧气浓度的快速在线检测系统指标达到检测范围 检测精度 长期稳定性 关键词 可调谐二极管激光吸收光谱 工业过程控制 浓度在线监测 中图分类号 文献标识码 技术的突破近红外 高灵敏在线检测技术已经实现 引 言 了从实验室到产品化的过渡 本文基于 技 术以 的 激光器作为光源输出功率为 近年来钢铁冶金石油化工电力造纸水泥和生化 采用波长调制 结合多次反射池对氧气进行检