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第 卷第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析
年 月
衬底温度对 薄膜结构和光致发光性能的影响
董李娜王玉新 孙景昌郑亚茹张 焕梁 鸣林茂魁崔 硕
辽宁师范大学物理与电子技术学院辽宁 大连
摘 要 利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度 在石英衬底上制备出一系列 薄膜
采用 射线衍射仪 扫描电子显微镜 和光致发光谱 表征了样品的晶体结构表面形貌和
光学性能结果表明衬底温度对薄膜结构性能和光学特性影响显著所有薄膜都呈六角纤锌矿多晶结构其
中在 条件下制备的样品 轴择优最明显晶粒尺寸均匀表面形貌平整结晶质量最好薄膜的光致
发光谱显示随着温度的升高深能级跃迁范围逐渐减小近紫外带边发光峰逐步出现衬底温度为时
在处出现了明显的近紫外发光峰且几乎没有明显的深能级跃迁出现
关键词 薄膜超声喷雾热解法衬底温度光致发光谱
中图分类号 文献标识码
关注 然而采用此方法制备 薄膜工艺的报道
引 言 相对较少而优化制作工艺对制备高质量 薄膜进而
充分发挥超声喷雾热解法的优势来讲非常重要本文系统地
氧化锌 薄膜是一种具有广阔应用前景的直接宽禁 研究了衬底温度对
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