镀膜问题总汇.doc

真空镀膜工艺问题汇总 ? 1.Al2O3Al2O3溅射镀怎么镀？请问旋转靶磁场加在哪里？ ? ? ? 2.一.多弧离子镀做TiAIN膜1.靶材，材质？尺寸？2.偏压，—脉冲，直流对膜有无影响？二.高建钢材质刀具，1.立铣刀的锋利与镀膜前的酸洗工艺存在矛盾。三.多弧炉中结合了磁控柱靶在TiAIN膜制作过程中，可采用或利用其磁控靶的优点进行，四.用高偏压加氢气的辉光放电，是否用对硬膜的形成不利，会影响其硬度吗？是否用离子轰由（加热）来取代此工艺吗？五.靶材中Ti的纯度，对膜质（硬度，外观，粗糙毒等）有无关系？Ti是否对工具镀膜来说是否足够？六.《真空》杂志中有文章介绍，多弧离子镀中用部分铬靶使TiN膜层中含有铬成分，有助于提高膜的硬度和外观的光亮度等那么能否采用钛铬合金靶，达到其效果？七.TiAl拔能否使其合金化，是否合金化后，在蒸发靶材时，清除或减少熔滴的产生？使其多弧离子镀，并产出的TiAIN膜质光亮，致密。 3.相对来说磁控溅射技术比较深奥些，听的不是太懂之前中设接触过磁控技术书面知识比较理论看不透彻，因为专业知识有限喜欢听笼统一点通俗易懂的。 4.1.如何防止靶的电弧放电问题 2.Si靶Ti靶的氧气是否一定要用压电阀来控制吗？3.做高反射钳时Si靶Ti靶的氩气，氧气的比例是多少？4.靶的电弧放电与亮孔是否有联系？5.在同样的工艺条件下，为什么有些会出现膜脱落，有时会出现SiTi膜脱落。 ? ? ? 5.镀铝制镜，基片两头打弧，为什么？怎么解决？镀过铝后如何保护？ 6.1.由于重复使用的玻璃进行了多次镀膜以后在玻璃表面残存物沉积且由于多次清洗造成玻璃表面划痕增加，最终造成散射光增加反射率降低，如何在不抛光的情况下，改善（提高）反射率？在镀膜工艺上有何可行性的解决方案等！为了增加铅膜和玻璃的粘合度，一般采用什么方法？如果镀一层介质膜，可采用什么材料，不影响反射率？ ? ? ? 7.目前国内的膜厚控制技术均多采用国外进口请问国内外的差距在什么地方，如何攻克?TiO2在40WA时的反射铝会下降如果我们镀Al需要照顾到红外和紫外线有什么方法使得反射率增高，S2O2好象只能作为保护膜用本身并不能提高反射率。 ? ? ? 8.汽车的热弓钢化Low-E怎样解决膜裂的问题？ ? ? ? 9.TiO2的沉积温度？350℃或可在更低温度下执行，最低温度多少？达到高反射率.TiO2的膜层厚度要多少？ ? ? ? ? ? ? 10.请介绍一下应用于手机外壳（塑料基材）上的不导电真空镀的成膜原理。如何控制生产过程中同一种产品之间的色差和不导电性差异。??请介绍一下金属膜层与塑胶基材之间提高结合力的介质及附差原理。 ? ? ? 11为什么控制氧气流量可以防止靶中毒??大面积膜设备中靶样间距，靶的设置密度如何确定？孪生靶斜放更稳定，其放置方向角度如何？孪生靶设计两靶间距如何确定？ITO膜中靶材利用，提高靶材利用率移动靶面磁场，如何移动？??? ? 12.中频孪生靶对靶间距有没有要求，最佳距离是多少？如何确定？中频孪生靶之间有角度放置，放置的角度是否无限加大对靶放置？ITO透明电玻璃镀刷时对温度要求大于350℃温度高低对膜的均匀性影响有多大，基本的受热均匀性是否也对膜质有影响，该如何解决？镀大型基片时出现结射现象在不浪费材料时该如何解决为好？所说的阳极消失是否是指基片被不导电膜附着而消失？ 13.在镀汽车风挡玻璃及LOW-E膜时并没有讲到镀膜的抗拉伸效果在弯曲的过程中，膜层不会产生变化么？有什么方式来检测？我从老没接触过ITO的行业，很想知道ITO靶材的具体成分的构成，以及他的合格指标。 ? ? ? 14.真空不导电的检测，真空不导电镀膜最好的方法，不导电镀膜带用哪些金属？哪种最稳定最好？磁控溅射颜色不稳定如何解决？镀膜层发黄的原因有哪些？真空度对镀膜品质有哪些影响？到何种程度为最低？镀膜层厚度如何控制，测量厚度与外观物性有何关系？能否邀请高工教授来厂家彻底培训？需多少费用？ ? ? ? 15.氢质谱检漏仪在真空镀膜中有哪些是何应用？如：什么地方需要检漏？大概漏率是多少？ ? ? ? 16.我司在用电频交流电源后生产TiO2时发现其溅射率仅于DC反应溅射相当，其原因是什么？有没有可钢代双银LW后在市场上出现？有没有实现可能？ ? ? ? 17.如何消除或减少有磁控溅射方法获得的铝合金膜层的脆性？在磁控溅射过程中伴随开一定的基片负偏压与所谓的磁控溅射离子镀有何区别？因为有此专箸上将前者视为偏压溅射而大连理工大学的一篇专利的名称为后者。 ? ? ? 18.孪生靶中两个靶距离对镀膜影响？孪生靶的靶基距？汽车玻璃中PVB是热压上作粘合用？. ? ? ? 19.LOW-E玻功的典型膜系。玻功——S