第四章纳米表征修改浅析.ppt

第四章 纳米材料的检测分析技术 教学目的：讲授纳米微粒的检测分析技术。 重点内容： 透射电子显微镜、扫描电子显微镜、XRD衍射、扫描隧道显微镜（STM）和XPS电子探针。 难点内容： XRD衍射、 XPS电子探针。 §4.1透射电子显微镜 Transmission Electron Miroscope (TEM） 一 光学显微镜： 人的眼睛的分辨本领0.1毫米。 光学显微镜，可以看到象细菌、细胞那样小的物体，极限分辨本领是0.2微米。 显微镜的分辨本领公式（阿贝公式）为：d=0.61?/(N?sin?)，N?sin?是透镜的孔径数。其最大值为1.3。光镜采用的可见光的波长为400~760nm。 观察更微小的物体必须利用波长更短的波作为光源。 X射线能不能用作光源？？？ 二、 TEM的构造 照明系统、样品台、物镜系统、放大系统、数据记录系统。 3.透射电镜（TEM）的成像过程 从加热到高温的钨丝发射电子，在高电压作用下以极快的速度射出，聚光镜将电子聚成很细的电子束，射在试样上； 电子束透过试样后进入物镜，由物镜、中间镜成像在投影镜的物平面上，这是中间像； 然后再由投影镜将中间像放大，投影到荧光屏上，形成最终像。 四 TEM的观察 图像种类： 明场像（透射电子）、暗场像（衍射电子） 1 TEM的分辨率 在电子图像上能分辨开的相邻两点在试样上的距离称为电子显微镜的分辨本领，或称点分辨本领，亦称点分辨率。一般用重金属粒子测。 A—常数；?—照明电子束波长；Cs—透镜球差系数。 ?r0的典型值约为0.25~0.3nm，高分辨条件下，?r0可达约0.15nm 电镜的放大率是指电子图像相对于试样的线性放大倍数。 2 衬 度 在透射电镜中，电子的加速电压很高，采用的试样很薄，所接受的是透过的电子信号。 因此主要考虑电子的散射、干涉和衍射等作用。电子束在穿越试样的过程中，与试样物质发生相互作用，穿过试样后带有试样特征的信息。 人的眼睛不能直接感受电子信息，需要将其转变成眼睛敏感的图像。图像上明、暗(或黑、白)的差异称为图像的衬度，或者称为图像的反差。 不能直接以彩色显示。 由于穿过试样各点后电子波的相位差情况不同，在像平面上电子波发生干涉形成的合成波色不同，形成图像上的衬度。 衬度原理是分析电镜图像的基础。 3 高分辨TEM 高分辨TEM是观察材料微观结构的方法。不仅可以获得晶包排列的信息，还可以确定晶胞中原子的位置。 200 KV的TEM点分辨率为0.2 nm，1000KV的TEM点分辨率为0.1nm。 可以直接观察原子象。 高分辨显微像 高分辨显微像的衬度是由合成的透射波与衍射波的相位差所形成的。 透射波和衍射波的作用所产生的衬度与晶体中原子的晶体势有对应关系。重原子具有较大的势，像强度弱。 晶格条纹像 常用于微晶和析出物的观察，可以揭示微晶的存在以及形状，可通过衍射环的直径和晶格条纹间距来获得。 单晶，多晶与非晶的比较 4 电子衍射 当一电子束照射在单晶体薄膜上时，透射束穿过薄膜到达感光相纸上形成中间亮斑；衍射束则偏离透射束形成有规则的衍射斑点。 单晶，多晶与非晶的电子衍射图 四、用TEM测纳米材料尺寸 1．制样要求 [1] 负载的铜网上，铜网直径2-3 mm。 [2]样品必须薄，电子束可以穿透，在100 kV 时, 厚度不超过100 nm，一般在50nm。粉体、涂膜、切片、染色 [3] 样品必须清洁，防尘，无挥发性物质。 [4]有足够的强度和稳定性，耐高温、辐射，不易挥发、升华、分解。(注意辐射损伤） 2．基本步骤 [1] 将样品用超声波振荡分散，除去软团聚。 [2] 用覆盖有碳膜或其它高分子膜的铜网悬浮液中，捞取或用滴管滴在碳膜上，用滤纸吸干或晾干后，放入样品台。 [3] 在有代表性且尺寸分布窄的地方，分散好的地方照像。 4．TEM法测纳米样品的优缺点 优点： 分辨率高， 1-3? ， 放大倍数可达几百万倍， 亮度高， 可靠性和直观性强，是颗粒度测定的绝对方法。 缺点： 缺乏统计性。立体感差，制样难，不能观察活体，可观察范围小，从几个微米到几个埃。 [1]取样时样品少，可能不具代表性。 [2]铜网捞取的样品少。 [3] 观察范围小，铜网几平方毫米就是1012平方纳米。 [4]粒子团聚严重时，观察不到粒子真实尺寸。 §4.2 扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope （ SEM）  1935年：德国的Knoll提出了扫描电镜(SEM)的概念; 1942：Zworykin. Hillier, 制成了第一台实验室用的扫描电镜。 1965年第一台商品扫描电镜问世。 二次电子——从距样品表面l00?左右深度范围内激发出来的低能电子