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热载流子效应对器件可靠性的影响
重庆邮电大学研究生堂下考试答卷
2011-2012 2
年第22学期
考试科目 微电子器件可靠性
姓 名 徐 辉
2011
年 级
专 业 微电子与固体电子学
S110403010
学 号 SS111100440033001100
2012 5 25
55月2255日
热载流子效应对器件可靠性的影响
徐辉
(重庆邮电大学 光电工程学院,重庆 400065)
摘要:介绍了几种热载流子以及MOSFET的热载流子注入效应。在此基础上总结了热载流
子注入效应对MOS器件可靠性的影响。随着MOS器件尺寸的缩小和集成电路规模的增大,
热载流子效应显得更加显著。最后介绍了几种提高抗热载流子效应的措施。
关键词:热载流子;热载流子注入效应;可靠性
EffectsofHot-carriersInjectionEffectontheReliability
XuHui
(College ofPhotoelectricEngineering,ChongqingUniversityofPostsandTelecommunications,Chongqing,
400065,P.R.China)
Abstract:
AAbbssttrraacctt::The effect of hot carrier and the MOSFET hot-carriers injection are reviewed.On this
basis, the hot-carriers injection effect on the reliability of MOS devices are summed up.With the
increasingsizeofMOSdevicesshrinkin sizeandintegrated circuits, thehot-carrierseffectiseven
moresignificant.Finally,severalmeasurestoimprovethethermalcarriereffectsareintroducted.
Keywards:
KKeeyywwaarrddss::hotcarrier;hot-carriersinjectioneffect;reliability
器件以及大规模集成电路中,容易
0
00 前言
出现热载流子。
随着VLSI 集成度的日益提高, 在使用条件下,MOSFET 会遇
[1]
MOS器件尺寸不断缩小至亚微米乃至 到四种类型的热载流子 ;
深亚微米级,热载流子效应已成为影 沟道热载流子(CHC);衬底热载
响器件可靠性的重要因素之一。从第 流子(SHC),漏端雪崩热载流子
一次意识到热载流子可导致器件退化 (DAHC) ; 和 二 次 产 生 热 电 子
以来,有关 MOSFET热载流子效应的 (SGHE)。
研究已持续了近30年。热载流子注入 沟道热载流子(CHC):热
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