12英寸集成电路生产线五期技术升级项目-建设局.doc

建设项目环保“三同时”竣工 验收监测报告 锡新环竣（2016）字第（098）号 项目名称： SK海力士半导体（中国）有限公司 12英寸集成电路生产线五期技术升级项目 建设单位： SK海力士半导体（中国）有限公司 无锡新区环境监测中心 上海华测品标检测技术有限公司 编制日期：2016年0月日 承担单位：无锡新区环境监测中心 协助单位：上海华测品标检测技术有限公司 编 制: 审 核: 签 发: 上海华测品标检测技术有限公司 电话: 021传真: 021邮编: 201206 地址: 上海市浦东新区新金桥路1996号 目录 一、前言 23 二、验收监测依据 24 三、建设项目工程概况 25 3.1项目建设情况表 25 3.2验收项目建设内容表 25 3.3主要原辅材料消耗一览表 26 3.4主要生产设备情况一览表 28 3.5固体废物情况一览表 29 四、环评结论和批复意见 31 4.1技改项目环评结论 31 4.2建议与要求 34 4.3环保局批复意见 35 五、生产工艺、污染物排放及防治措施 37 5.1生产工艺流程 37 5.2污染物排放及防治措施 48 六、验收监测评价标准 56 6.1废水排放标准 56 6.2废气排放标准 58 6.3 厂界噪声排放标准 60 七、验收监测内容 61 7.1 废水监测 61 7.2废气监测 61 7.3噪声监测 62 八、监测分析方法及质量保证 63 九、监测期间工况及说明 68 十、监测结果 69 10.1水质监测结果 69 10.2工业废气监测结果 76 10.3厂界噪声监测结果 94 10.4废气复测结果 95 10.5污染物排放总量核算 99 十一、环境管理检查 104 十二、批复意见落实情况 105 十三、验收监测结论和建议 107 一、前言 SK海力士半导体（中国）有限公司（原名海力士—意法半导体有限公司成立于2004年，后于2008年3月28日更名为海力士—恒忆半导体有限公司，于2010年更名为海力士半导体（中国）有限公司，于2012年更名为SK海力士半导体（中国）有限公司）。现位于江苏省无锡高新区综合保税区K7地块。为提高产品竞争力，SK海力士半导体(中国)有限公司拟进行产品升级，产品线宽由20nm升级到10nm级，本项目建成后，全厂将形成总产量135K片/月（其中10nm级产品83K片/月，20nm级52K片/月）。 SK海力士半导体（中国）有限公司12英寸集成电路生产线五期技术升级项目于2015年10月由江苏省环科咨询股份有限公司完成环境影响评价。无锡市环保局于2015年10月28日对环评报告书进行审批。试生产期间本项目各类设施运行稳定，目前生产能力已达到75%，具备了“三同时”验收监测条件。 根据国家环保总局第13号令《建设项目竣工环境保护验收管理办法》等有关文件的要求，受SK海力士半导体（中国）有限公司的委托，上海华测品标检测技术有限公司于2016年06月13~17/21~22日、2016年07月11日~2016年07月14日、2016年08月09日~2016年08月10日对验收项目中的废水、废气、噪声等污染物排放现状和各类环保设施的处理能力进行了现场监测，根据监测结果及现场管理检查情况，编制了本项目竣工环保验收监测报告，为本项目竣工环保验收及环境管理提供科学依据。 二、验收监测依据 《建设项目环境保护管理条例》（国务院令第253号） 《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（国家环保总局第13号令2001年12月） 《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》（江苏省环保局，苏环控[97]122号文） 《江苏省排放污染物总量控制暂行规定》（江苏省政府[1993]第38号令） 《江苏省环境保护工程（设施）竣工验收办法》（省环委会苏环委[94]12号) 《SK海力士半导体（中国）有限公司12英寸集成电路生产线五期技术升级项目环境影响报告书》（江苏省环科咨询股份有限公司2015年10月） 无锡市环保局对《SK海力士半导体（中国）有限公司12英寸集成电路生产线五期技术升级项目环境影响报告书》的审批意见（2015年10月28日） 《SK海力士半导体（中国）有限公司12英寸集成电路生产线五期技术升级项目验收监测方案》（上海华测品标检测技术有限公司，2016年05月23日） SK海力士半导体（中国）有限公司提供的基础数据三、建设项目工程概况 本项目具体地理位置见附图一，项目周围环境概况图见附图二，平面布置图见附图三，工程建设情况见表3-1，建设内容见表3-2，原辅材