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SJ6000激光干涉仪产品资料及技术参数介绍-深圳中图仪器.pdf
产品解决方案
产品名称: SJ6000 激光干涉仪
联 系 人:
联系电话:
公司地址:深圳市福田区上梅林凯丰北路利丰大厦2~4 楼
公司网址:
深圳市中图仪器科技有限公司
SJ6000 激光干涉仪
一、 产品开发背景
激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵
度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。目前,国产激光干涉仪无论在测量精度、最高测速,还是
在最高测速下的分辨率及测量范围等方面,都与国外的产品有着一定的差距。由于技术上的差距,导
致了国内的激光干涉仪市场一直由国外占领,且形成了价格垄断。SJ6000 激光干涉仪在测量精度、
测量速度等方面基本上达到进口品牌的水平,能够填补我国在中高端测量技术上的空白,打破国外在
价格和技术上的垄断,推动激光干涉测量技术的普及,降低企业的检测成本,提升了我国在高精密测
量方面的检测水平进而提高我国在高端制造领域的整体竞争力。
表1
国内外典型激光干涉仪性能参数对比
成都工具 中图仪器
Renishaw API Agilent ZYGO
所 SJ6000
单/双频 单频 双频 双频 双频 双频 单频
产生双频的方法
/ 塞曼效应 塞曼效应 声光调制 塞曼效应 /
最大频差 (MHz ) / 4 4 20 1.2 /
激光稳频精度 (ppm)
0.05ppm 0.05ppm 0.02ppm 0.1ppm 0.1ppm 0.05ppm
最高测速 (mm/s)
4000 / 3000 5100 2000 4000
分辨率 (nm) 1 1 1 0.31 20 1
测量范围 (m ) 80 45 40 40 20 40
线性测长精度( m) 0.5 0.5 0.4 0.5 1.5
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