FPCDES工艺规程.doc

龙芯柔性电路板有限公司 DongGuan Long Xin FPC Co.,Ltd. DES工作指示 内部受控文件 严禁私自以任何形式全部或部分复制 姓名 部门 职位 签名 日期 拟制 陶兴平 工艺部 主管 审核 陶兴平 工艺部 主管 冯永阵 生产部 主管 陶兴平 品质部 主管 批准 李松海 总经办 懂事 文件编号：LX-MEI-TD-004 版： 页码： 1/15 修改履历 版次 修改原因 文件名 作成日期 修改人 A.0 新规作成 LX-MEI-TD-004 2011-04-01 陶兴平 A.1 新增内容 LX-MEI-TD-004 2011-07-01 陶兴平 文件编号：LX-MEI-TD-004 版： 页码： 2/15 作业指导书 作成 审核 批准 编 号 LX-MEI-TD-004 版 次 A.1 页 3/15 生效日 2011-07-01 名称 DES工艺规程 1. 目的： 1.1 本规程规范DES工艺及操作，满足其生产品质要求； 1.2 本规程为生产、品质、工艺等有关人员提供操作和监控的依据。 2. 适用范围： 适用于本公司DES工序的作业控制。 3. 使用材料、工具、设备： 工业碳酸钠，氢氧化钠、硫酸（CP级）、消泡剂、显影机、引导板、工业盐酸、蚀刻子液、氢氧化钠、蚀刻机、脱膜机、百倍镜。 4. 作用或原理： 4.1 各药水缸的作用： 缸 名 作用或原理 显影 感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，留下已感光交联固化的图形部分 蚀刻 1、以化学的方法去除线路板上铜箔表面多余部分的铜，，CuCl2中的二价铜具有氧化性,将板面铜氧化为一价铜Cu+CuCl2= Cu2Cl2 3、为了达到再生的目的,利用氧化剂将Cu2Cl2中的一价铜氧化为二价铜Cu2Cl2+2HCl+H2O2 = 2CuCl2+2H2O 脱膜 将板面的抗蚀干膜（或油墨）彻底的退除干净、露出新鲜的Cu面以便于后制程的生产 5. 作业方法： 5.1 作业准备： 5.1.1作业前准备：（每班检查一次） 检查各连接处有无渗漏 → 检查进、排水总阀是否打开 → 检查各水洗缸进水循环管是否打开 → 检查各药液排出阀是否关闭 → 检查各缸内液位是否足够,如不够,则加水至液位，搅拌后通知化验室分析调整 → 检查传动系统是否正常 → 滚轮表面是否有异物 → 检查喷淋、压力是否正常 →需加温的药缸提前预热 →进产品前药缸开泵循环2分钟以上后,观察控制面板上温度是否到达操作的温度，否则需继续加热 。 作业指导书 编 号 LX-MEI-TD-004 版 次 A.1 页 4/15 生效日 2011-07-01 名称 DES工艺规程 5.1.2 作业前具体检查项目（每班检查一次） 5.1.2.1 液位：各缸液位偏低则按各自方法补加与调整，偏高则视具体情况决定是否排出； 5.1.2.2 温度：各缸液实测温度与设定值允许偏差±2℃； 5.1.2.3 过滤：过滤器不允许有漏液、漏气、空转、停转、堵塞等问题； 5.1.2.4 喷嘴：喷淋无堵塞、倾斜； 5.1.2.5 仪表：各仪表显示准确、无异常； 5.1.2.6 摇摆：是否正常工作； 5.1.2.7 风刀：无堵塞，气流温度正常； 5.1.2.8 吸水海棉：目视及用手捏挤看其是否有污水渗出，如异常则须清洗至合格，正常生产每个月更换一次吸水海棉，新吸水海棉需用清水浸泡4个小时才能使用；每天每班二次清洗一次 5.1.2.9　滤膜系统，滤渣系统无干膜渣堆积，脱膜缸内无大量干膜渣漂浮，脱膜后水洗段传送轮上不允许有膜碎，必须用自来水将其冲干净。 5.2 作业流程： 5.2.1 工艺（作业）流程： FPC上导板(单面板) →入板→显影1和2→隔离→压力水洗→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→强风吹干→热风吹干→出板→蚀刻进板→蚀刻1、2和3→隔离→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→中检→脱膜1、2和3→压力水洗→隔离→压