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超精密机床主轴回转误差在线测试与评价技术pdf1017Kb
超精密机床主轴回转误差在线测试与评价技术* ＊
郅佶①② 晨辉① ①② 清华① ① ②
孙 安 杨 旭 张 王 健 毕 果
( ， 610041 ; ， 361005)
①成都精密光学工程研究中心 四川成都 ②厦门大学机电工程系 福建厦门
: ， 。
摘 要 为了实现对超精密机床主轴回转误差的在线测试与评价 建立了纳米级在线测试与评价系统 对
、 、 。 ，
该系统所采用的测试仪器 干扰抑制 数据处理与指标评价方法进行研究 首先 在某台超精密切
5 5 。 ，
削机床上搭建了由 个电容传感器组成的 通道测试模块 接着 以多通道高速数据采集模块实
。 ， 。 ， 5
现多通道位移数据模拟量的高速采集 然后 对采集的信号进行必要的干扰信号分离 最后 将
， 。
通道位移数据转换为易于理解的轴向误差和径向误差数据 并按照同步误差和异步误差进行分离
: 405 nm ， 66 nm ;
测试结果表明 该机床主轴工作转速下的径向同步误差为 径向异步误差为 轴向同
59 nm ， 54 nm 。 ，
步误差为 轴向异步误差为 能够实现超精密机床主轴回转误差的纳米级在线测试
对于超精密光学加工表面的误差溯源和机床主轴性能分析具有重要意义。
: ; ; ;
关键词 超精密机床主轴 在线测试 回转误差 异步误差
中图分类号:TH133． 36 文献标识码:A
On － line measurement and evaluation of spindle error motion in ultra precision machine tool
SUN Zhiji①② ，AN Chenhui① ，YANG Xu①② ，ZHANG Qinghua① ，WANG Jian① ，BI Guo②
( Chengdu Fine Optic Engineering Ｒesearch Center ，Chengdu 610041 ，CHN ;
①
( Department of Mechanical and Electrical Engineering ，Xiamen University ，Xiamen 361005 ，CHN ;
②
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