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TruPlasma VHF 3000 系列 技术数据 TruPlasma VHF 3000 系列 等离子激发 技术数据 TruPlasma VHF 3005 高频输出端 输出功率 5 kW 标称功率 5 kW 额定负载阻抗 50 Ω 输出频率 40.68 MHz 标称连接数据 电源供应器电压 200 - 480 V 电源频率 50-60 Hz 电源消耗功率 18 kVA 功率系数 0.95 通信接口 同步接口 是 模拟/数字 是 RS 232 / RS 485 是 PROFIBUS 是 ETHERCAT 是 DEVICENET 是 外壳 重量 55 kg 防护等级 IP 30 冷却要求 最高水压 7 bar 最小压差 2 bar 最小流量 8 l/min 冷却介质温度 5 °C - 35 °C 1 通用 保留更改权利。具有效力的是我们报价和订单确认中的数据。 2017年09月12日 页 2/4 TruPlasma VHF 3000 系列 等离子激发 技术数据 TruPlasma VHF 3005 总效率 75 % 认证书/标准 Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs 周围条件 外部温度 5 °C - 40 °C 空气湿度 5 % - 85 % 气压计压力 79.5 kPa - 106 kPa 保留更改权利。具有效力的是我们报价和订单确认中的数据。 2017年09月12日 页 3/4 脚注 1 — 冷却水温度必须超过室温的露点，以避免产生冷凝。