热处理对crtialzr多元金属薄膜耐蚀性研究-yoke.pdf

熱處理對 CrTiAlZr 多元金屬薄膜耐蝕性研究 Corrosion property study of CrTiAlZr multi-component coatings 楊玉森* 葉瀚文* 黃煒盛**,† 黃國平** Y.S. Yang H.W. Yeh Wesley Huang G.P. Hauang 摘要 structure of as deposited film is 本研究利用非平衡磁控濺鍍膜法， amorphous with well corrosion resistance. 在不銹鋼上披覆 CrTiAlZr 薄膜，藉此了 The lower deposition rate at 解鍍膜相關之耐蝕性質，本研究利用各 10nm/min show batter corrosion 元素的沉積速率來配置約 2.5 μm 厚度 resistance than that of 20 nm/min. 的鍍膜，再進行 500 °C、700 °C 及 900 °C Corrosion resistance of coatings is getting 之真空熱處理，再對耐腐蝕性的影響。 poor by increasing the vacuum heat 實驗結果顯示，鍍膜為非晶質結構，具 treatment temperature due to the 有良好耐蝕性，沉積速率 10 nm/min 的 crystallization of films. 耐腐蝕性較 20 nm/min 為佳，經 500 °C 、700 °C 及 900 °C 熱處理後，鍍膜結 1. 前 言 晶化，腐蝕性下降，隨熱處理溫度上升， 在科技日新月異的時代裡，單層鍍 結晶化增加，耐腐蝕性下降。 膜及多層鍍膜，已廣泛的應用於裝飾的 鍍膜、保護性的鍍膜、抗磨損鍍膜、光 關鍵字：封閉式非平衡磁控、非晶質結 學材料的鍍膜。近來面臨全球競爭激烈 構、真空熱處理、極化曲線 的環境，傳統的單層鍍膜面臨易磨耗、 氧化、附著力不佳等問題，增進材料耐 Abstract 磨耗性、硬度等機械性質刻不容緩。而 This paper presents corrosion 多層薄膜兼具披覆速度快、鍍膜附著性 property of multi-component CrTiAlZr 佳、組織緻密，且可形成極為平滑表面 films deposited on stainless steel by 等優點。 unbalanced magnetron sputtering system. 為了突破目前難題許多學者著手研 The aim of this paper is to study the 究多元合金、多相及多層系統，將幾個 effects of deposition rate and 具有優異性質的材料結合產生新的鍍 heat-treatment on the corrosion property. 膜，不僅僅保有原來鍍膜的特性更能夠 The deposition rate were controlled for a 突破單一鍍膜的功能，可以結合個別鍍 total thickness of the 2