微奈米制程与材料分析SEM操作实作报告.PDF

微奈米製程與材料分析 SEM操作實作報告 組別 ：第四組 指導老師 ：吳忠春 老師 組長 ：蘇冠融 組員 ：張善淵 邱柏森 柯長青 【】 介紹 ／ 硬體設備 1 SEM EDS － 的整體外觀 1.S 3000N 2.電子槍柱體上的旋鈕與按鍵 3. 旋鈕鍵盤 （ ） 放大倍率旋鈕 a MAGNIFICATION 使用此旋鈕可更改放大倍率 ，有蜂鳴聲提醒使用者 ，放大倍率極大與極小 的界限 ，只有在影像觀察中 ，此旋鈕才有作用。 （ ） ， 對比與明暗的旋鈕 b CONTRAST BRIGHTNESS 使用此旋鈕可調整影像的對比與明暗。 對比旋鈕調整影像的對比。 明暗旋鈕調整影像的明暗。 有蜂鳴聲提醒使用者 ，調整時的極限 ，只有在影像觀察中 ，此旋鈕才有作 用。 （ ） 聚焦旋鈕 c FOCUS 使用此旋鈕調整聚焦，此旋鈕的調整會自動配合放大倍率。低放大倍率時 ， 聚焦旋鈕調整動作較大。高放大倍率時 ，聚焦旋鈕調整動作較小。使用者 在使用時 ，請由低放大倍率粗調後 ，再使用高放大倍率微調。 （ ） ／ － 像差軸調整旋鈕 d STIGMATOR ALIGNMENT X Y 通常使用此旋鈕調整像差 ，當調整時下圖視窗就會出現。 ※STIGMATOR （像差調整 ） 請使用 － 旋鈕 ，調整畫面的流向 ，使影像停止做上下左右的跳動。 X Y ※ALIGNMENT （軸調整） 在此功能狀態下 ，使用 － 調整旋鈕 ，進行軸調整。 X Y （ ）電子影像位移多功能 ／ ＊ ／ 旋鈕 ＊ 旋鈕被設計為多功能 e X K1 Y K2 K1 K2 調整旋鈕 ，以下為其使用說明 ： (1)K1 ：電子影像位移Ｘ軸。 K2 ：電子影像位移Ｙ軸。 使用電磁式電子束偏移線圈 ，做電子影像的位移 ，Ｘ軸調整旋鈕負責水 平方向的位移，Ｙ軸調整旋鈕負責垂直方向的位移，工作距離為 15mm 大概有 ± μ 的移動距離。 20 m (2)K1 ：燈絲。 K2 ：電子偏向。 ：電子流 粗調。 (3)K1 1 ：電子流 微調。 K2 1 ：電子流 粗調。 (4)K1 2 ：電子流 微調。 K2 2 當使用電子束旋轉、動態聚焦、傾斜補正時。 (5)K1 ：動態聚焦。 K2 ：傾斜補正。 (6)K1 ：電子束旋轉。 K2 ：無指定。 【】 螞蟻試片 2 1. 整體外觀 2. 螞蟻的眼睛 3. 螞蟻的觸角 4. 螞蟻的尾巴的針 【】 更換試片程序 3 （ ）當加速電壓打開時 ，按下