电子纸微杯结构金属模具的设计与制作-液晶与显示.PDF

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２６ ２ Ｖｏｌ．２６Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２０１１ ４ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ａ ｒ．２０１１ ｑ ｙ ｐ ｙ ｐ 文章编号： （ ） １００７２７８０２０１１０２０１７４０４ 电子纸微杯结构金属模具的设计与制作 １ １ ２ １ １ 浦东林 ，胡 进 ，朱鹏飞 ，魏国军 ，陈林森 　 （ 苏州大学 信息光学工程研究所，江苏 苏州 ， ： ； １． ２１５００６Ｅｍａｉｌ ｕｄｏｎｌｉｎ ｓｕｄａ．ｅｄｕ．ｃｎ 　 ｐ ｇ ＠ ２．苏州苏大维格光电科技股份有限公司，江苏 苏州 ２１５０２６） 　 摘 要：提出了用于电子纸的微结构金属模具的“选择生长”方法，即通过在金属基材上形成选择性的导电与 　 不导电图形，来制作深纹的“微杯”金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光 直写系统曝光形成“微杯”图形，然后通过电铸工艺制作出镍金属模具。实际制作的“蜂窝”分布的微杯结构 参数与设计参数基本吻合。该工艺流程适合研制更大尺寸的电子纸的微杯模具，将为“微杯”模具制作提供 一种有效手段。 关 键 词：电子纸；微杯模具；光刻电铸 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２７ Ａ 犇犗犐 １０．３７８８ＹＪＹＸ０１７４ 　　　 　　　 犇犲狊犻狀犪狀犱犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犕犲狋犪犾犕犻犮狉狅犮狌 犕狅狌犾犱犳狅狉犈犘犪犲狉 犵 狆 狆 １ １ ２ １ １ ， ， ， ， ＰＵＤｏｎｌｉｎ ＨＵＪｉｎ ＺＨＵＰｅｎｆｅｉ ＷＥＩＧｕｏｕｎ ＣＨＥＮＬｉｎｓｅｎ ｇ ｇ ｊ （１．犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犗 狋犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犛狌狕犺狅狌犝狀犻狏犲狉狊犻狋， 犳 狆 犵 犵 犳 狔 ， ， ： ； 犛狌狕犺狅狌 ２１５００６犆犺犻狀犪 犈犿犪犻犾