材料研究方法及测试技术.ppt

  1. 1、本文档共393页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
. EPMA分析方法 定点定性分析 定点定量分析 EPMA有四种分析方法 线扫描分析 面扫描分析 *定性分析:利用WDS将样品发出的X射线展成谱,记下其波长,根据波长表确定样品中所含元素。 *定量分析:既记录样品发射的X射线的波长,还记录其强度,将强度与标样对比确定元素的含量。 *定点分析:对样品表面选定微区作定点全谱扫描,进行定性或定量分析。 *线扫描分析:电子束沿样品表面选定的直线轨迹进行定性或定量分析。 *面扫描分析:电子束在样品表面作光栅式面扫描,获得元素分布的扫描图像。 ? 线扫描分析对于测定元素在材料相界和晶界上的富集与贫化是十分有效的。在有关扩散现象的研究中,电子探针比剥层化学分析、放射性示踪原子等方法更有效。 ? 在一幅X射线扫描像中,亮区代表元素含量高,灰区代表元素含量较低,黑色区域代表元素含量很低或不存在。 分析电子显微镜简称AFM,是一种能对材料微区形貌、晶体结构和化学成分进行综合分析的电子显微镜。 AFM可按TEM、SEM、STEM三种方式成像。 AFM可像TEM一样进行电子衍射来进行晶体结构分析,可像SEM一样进行图像处理,还可与能谱仪一起进行微区成分分析。 AFM集SEM、TEM的功能于一身,有其优点,但结构复杂、价格昂贵,其发展仍受到限制。 2.7 分析电子显微镜(简介) 扫描隧道显微镜简称STM,是新型的表面分析仪器,是80年代初,由G.Binnig和H.Rhrer等人发明的,该发明于1986年获诺贝尔奖。 STM的原理:STM以原子尺度的极细探针及样品作为电极,当针尖与样品非常接近时(约1nm),就产生隧道电流。通过记录扫描过程中,针尖位移的变化,可得到样品表面三维显微形貌图。 STM的特点:具有原子级高分辨率,可分辨出单个原子;可实时得到样品表面三维图像;可在真空、大气、高温、常温等不同环境下工作。 STM的应用:主要用于金属、半导体和超导体的表面几何结构与电子结构及表面形貌分析。不能直接分析陶瓷等绝缘体样品。 2.8 扫描隧道显微镜(简介) 扫描隧道显微镜简称STM,是新型的表面分析仪器,是1982年,由G.Binnig和H.Rhrer等人发明的,该发明于1986年获诺贝尔奖。 STM的原理:STM以原子尺度的极细探针及样品作为电极,当针尖与样品非常接近时(约1nm),就产生隧道电流。通过记录扫描过程中,针尖位移的变化,可得到样品表面三维显微形貌图。 2.8 扫描隧道显微镜(简介) STM的特点: 1、具有原子级高分辨率,可分辨出单个原子,分辨率可以达到横向≤0.1nm,纵向≤0.01nm ; 2、可实时得到样品表面三维图像; 3、可在真空、大气、高温、常温等不同环境下工作; 4、不仅可作为表面分析的手段用来研究表面性质,还可作为一种表面加工手段在纳米尺度上对各种表面进行刻蚀与修饰,实现纳米加工; 5、相对于TEM其结构简单,成本低廉。 STM的应用:STM对样品的尺寸形状无任何限制,不破坏样品的表面结构。广泛应用于材料、物理、化学、生物等学科领域,用以研究固体表面结构及其在物理、化学过程中的变化,揭示材料表面原子尺度的结构及变化规律。主要用于金属、半导体和超导体的表面几何结构与电子结构及表面形貌分析。可以原位观察材料表面发生吸附的过程、外延生长的过程、催化反应的过程和相变的过程,以促进深入认识化学反应的原理和物理相互作用的本质。还可在观察分析表面结构的同时,对表面进行刻蚀、诱导沉积或搬动原子或分子,进行纳米加工,由此产生的一种新技术——原子技术或原子工艺,以实现人为地改变材料表面结构或制造人工分子。其缺点主要是不能直接分析陶瓷等绝缘体样品。 原子力显微镜简称AFM,它是以STM为基础,也由G.Binnig发明,主要是针对STM不能用于绝缘体的检测和分析的缺点于1986年发明的。 1988年初,中国科学院化学所白春礼等人成功地研制了国内第一台STM,同年又研制出了我国第一台AFM。 AFM也是一种表面分析仪器,它不仅可以获得导体、半导体以及绝缘体表面的原子级分辨率图像,还可以测量、分析样品表面纳米级力学性质如表面原子间力、表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等。 2.9 原子力显微镜(简介) AFM的应用非常广泛。已经获得了导体和绝缘体在内的许多不同材料

文档评论(0)

浪漫唯美-文档菜鸟 + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档