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- | 2018-09-17 颁布
- | 2019-01-01 实施
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ICS 3 1.030
L 90
国;
中华人民共和国国家标准
GB/T 36655-2018
电子封装用球形二氧化硅微粉中 α 态晶体
二氧化硅含量的测试方法 XRD 法
Test method for alpha crystalline silicon dioxide content of spherical silica
powder for electronic packaging-XRD method
2018-09-17 发布 2019-01-01 实施
国家市场监督管理总局峪非
中国国家标准化管理委员会 0(.. I (J
GB/T 36655-20 18
目u 昌
本标准按照GB/T 1. 1-2009 给出的规则起草。
本标准由全同半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出井归口 。
本标准起草单位: 同家硅材料深加了产品质量监督检斡中心、江苏联瑞新材料股份有限公司、汉高
华威电子有限公司。
本标准主要起草人:封丽娟、李冰、陈进、夏永生、曹家凯、口福发、阮建军、王松宪。
I
GB/T 36655-2018
电子封装用球形二氧化硅微粉中 α 态晶体
二氧化硅含量的测试方法 XRD 法
1 范围
本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中α 态晶体二氧化硅含量的 XRD 测试方法。
本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测Q 态晶体二氧化硅含量,其他元定形二氧化硅
含量的检测rJ 也可参照本标准执行。 α 态晶体二氧化硅含量测试范围 0. 5 %以下半定量分析,0. 5 %~5 %
定量分析。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日 期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件
。 凡是不注日期的引用文件, 其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
.TY/ T 009 转靶多晶体X 射线衍射方法通则
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
电子封装用球形二氧化硅微粉 spherical silica powder for electronic packaging
采用火焰成球法、高泪熔融喷射法或等离子体法制备,应用于电子封装领域的球形二氧化硅微粉。
4 方法原理
晶体二氧化硅和元定形二氧化硅在特征X 射线照射下各向具有特有的 X 射线散射花样,晶体二氧
化硅的散射强度与其含量成比例。
5 仪器设备和管理样品
5. 1 仪器设备
5. 1. 1 多晶 X 射线衍射仪
带微机、铜靶、狭缝、滤波片井有阶梯扫描方式功能。
5.1.2 分析天平
感量为 0.1 mg。
5.2 管理样晶
5.2.1 晶体二氧化硅微粉
二氧化硅含量大于99.99 %,适宜粒径范围 2µ.m~10 µm。
GB/T 36655-2018
5.2.2 无定形二氧化硅微粉
二氧化硅含量大于99. 99 % ,适宜粒径范围 2 ,um~ 10 µm。
6 样品制备
参照附录A。
7 测试步骤
7.1 仪器预热
根据JY/T 009 进行仪器预热。
7.2 K c 值的测定和计算
取α 态晶体二氧化硅微粉
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