ELIAS发射谱线分析光谱仪.PDF

ELIAS发射谱线分析光谱仪 ELIAS发射谱线分析光谱仪 Emission LInesAnalyzing Spectrometer Emission LInesAnalyzing Spectrometer 产品简介 ELIAS 产品家族是一系列具有极高分辨率的中阶梯光栅光谱仪。其 主要应用于对分辨率有极高要求的发射/吸收光谱谱线的精密分析 与测量 ；ELIAS系列产品尤其适用于单纵模激光器激光谱线精细结构 的分析研究；并大量应用于激光器制造行业制造品质控制场合； ELIAS系列产品为当今业界拥有最高光谱分辨率的高端光谱产品 ，在 提供发射谱线精确波长位置的同时，提供飞米级光谱分辨，展现发 射谱线主模附近的边摸光谱结构信息（光谱直拍，展示实际光谱精 细结构；不同于干涉原理的波长计只能提供中心波长精确位置 ）； ELIAS产品家族拥有7个子系列： ELIAS-I,ELIAS-II,ELIAS-III,ELIAS-LD,ELIAS-Portable,ELIAS-VUV, ELIAS-Wavemeter； ELIAS-III提供高达8,800,000（22fm@193nm）的实用光谱解析能 力，;是业界光谱分辨能力的世界纪录，非常适合超窄线宽激光器， 单纵模激光器的光谱分析、监控 ；ELIAS-I是ELIAS系列的基本型号 ； ELIAS-II提供 double色散光程，分辨率水平是 ELIAS-I的二倍； ELIAS-III提供四倍色散光程，分辨率水平是 ELIAS-I 的四倍； ELIAS-VUV是针对157nm紫外光刻应用领域设计的ELIAS子型号；ELIAS-LD是ELIAS系列产品中自由光谱区（Inspectionwindow ） 最宽的一款，最高分辨率优于1,500,000(130fm@193nm)，适用于半导体激光，固体激光……的纵模结构分析 ；ELIAS-Wavemeter在 ELIAS-I的基础上提供了真空光学腔室及相关空心阴极灯做为校准基准，可提供0.1pm的绝对波长精度，提供目前业界最高级别的绝对 波长测量、校准、监控。 硬件原理 基本功能 ELIAS的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用 及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常 高的衍射级次可获得极高的理论分辨率 （femtometer level）；LTB的工程师通过两个方面 的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率: 1.逼近衍射极限的消色差成像光路; 2.足够高的线色散来确保以5～10个像素（CCD） 来解析光谱谱线的半高宽； ELIAS 利用宽达 360mm 的超大中阶梯光栅 （Echellegrating）以利特罗 （Littow）自准直结构 构成光路;ELIAS不同于靠干涉方式测量光谱的分析 设备，ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次 等效于