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附件1:
2011年第一批半导体材料国家标准制(修)订计划项目表
序号
计划编号
项目名称
制修订
被代替标准号
完成年限
项目归口
起草单位T-469
Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所T-469
Ⅲ族氮化物外延片晶格参数测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所T-469
LED发光用氮化镓
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所T-469
LED外延芯片用磷化镓衬底规范
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所T-469
LED外延芯片用砷化镓衬底规范
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所、国瑞、协鑫硅材料等T-469
氮化物LED外延片内量子效率测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
中国科学院半导体研究所T-469
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469
蓝宝石单晶衬底抛光片规范
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469
蓝宝石单晶晶锭
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469
蓝宝石晶锭应力测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
协鑫光电科技(江苏)有限公司、中科院上海光机所T-469
太阳能电池级硅片翘曲度和波纹测试方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司T-469
太阳能电池级硅片切割线痕和表面粗糙度测量方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
瑟米莱伯贸易(上海)有限公司T-469
太阳能电池用锗单晶片和锗衬底片
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
南京中锗科技股份有限公司T-469
碳化硅单晶抛光片
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所T-469
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
制定
-
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所T-469
掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算方法
修订
GB/T 13389-92
2012
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
有研半导体材料股份有限公司
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