- 1、本文档共3页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
第42 卷 第5 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.42 No.5
2013年9月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Sep. 20 13
·电子信息材料与器件·
AlN/Al O (0001)薄膜生长与吸附的表面界面结构研究
2 3
1 1 2 1 1,3
余 毅 ,梁晓琴,黄 平 ,冯玉芳,杨 春
(1. 四川师范大学化学与材料科学学院 成都 610066; 2. 四川师范大学物理电子工程学院 成都 610066;
3. 四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室 成都 610066)
【摘要】针对氮化铝异质薄膜的制备,构建了两种AlN/Al O (0001)材料生长模型,采用基于密度泛函理论的平面波超软
2 3
赝势方法 ,对-Al O (0001) 表面吸附AlN 进行了模拟计算。分析了AlN 在表面的吸附位置及其表面界面结构,发现
2 3
AlN相对具有氧六角对称结构的最近邻的表面Al—O键发生了30°的偏转 ,稳定的化学吸附消除了吸附前表面Al—O层的驰豫 ,
从而有利于AlN薄膜的铅锌矿结构的形成。
关 键 词 AlN /Al O 薄膜; 计算机模拟; 吸附生长; 表面界面
2 3
中图分类号 O647, O793 文献标志码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2013.05.027
Study of the Structure of the Surface and Interface
of the Growth and Absorption of AlN/Al O (0001) Film
2 3
1 1 2 1 1,3
YU Yi , LIANG Xiao-qin , HUANG Ping , FENG Yu-fang , and YANG Chun
(1. College of Chemistry and Materials, Sichuan Normal University Chendu 610066;
2. College of Physics and Electronic Engineering, Sichuan Normal University Chendu 610066;
3. Visual Computing and Virtual Reality Key Laboratory of Sichuan, Sichuan Normal University Chendu 610066)
Abstract In view of the AlN thin films preparation, two AlN/Al O (0001) growth models have been bui
您可能关注的文档
- allegro导入中文字的处理.pdf
- al—li系铝合金强韧性分析.pdf
- alloy31合金钢机械性能应用上海蓝东实业特种合金研究中心.pdf
- aln 基材料高温mocvd 生长及其器件研究进展.pdf
- almoo3和alfe2o3纳米含能薄膜制备与性能表征.pdf
- aln_ply12铝基复合材料热压缩变形行为研究.pdf
- aln薄膜的椭圆偏振光谱模型研究.pdf
- aln阻挡层对alganganhemt器件的影响.pdf
- al-pb新型复合电极材料的制备及其性能研究.pdf
- alpha稳定分布的参数表征及仿真.pdf
- 山东省临沂市沂水县2023-2024学年高一下学期期中考试历史试题.docx
- 江苏省泰州市靖江高级中学2023-2024学年高二下学期4月期中考试物理试题(无答案).docx
- 新疆部分名校2023-2024学年高二下学期期中联合考试语文试题.docx
- 湖南省岳阳市岳阳县第一中学2023-2024学年高三下学期4月期中考试数学试题.docx
- 山东省烟台市2023-2024学年高二下学期4月期中生物试题(无答案).docx
- 江苏省靖江高级中学2023-2024学年高二下学期期中地理试题(无答案).docx
- 四川省甘孜藏族自治州某重点中学2023-2024学年高一下学期4月期中考试物理试题.docx
- 湖北省武汉市华中师范大学第一附属中学2023-2024学年高二下学期4月期中英语试题(无答案).docx
- 四川省成都市金牛区成都市实验外国语学校2024年高三三模考试生物试题.docx
- 浙江省宁波市北仑中学2023-2024学年高二下学期期中考试物理试题.docx
文档评论(0)