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ICS 23.160
J 78
Q/GTS
广东腾胜真空技术工程有限公司企业标准
Q/GTS 2—2019
卷绕式磁控光学镀膜机
2019 - 09 - 28 发布 2019 - 09 - 28 实施
广东腾胜真空技术工程有限公司 发 布
Q/GTS 2—2019
目 次
前言 II
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 要求 1
5 试验方法 2
6 检验规则 4
7 标志、包装、运输、贮存 4
I
Q/GTS 2—2019
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由广东腾胜真空技术工程有限公司提出并起草。
本标准起草人:朱文廓、朱刚劲、朱刚毅、杨容军、朱嘉辉、吴志坚、邝梓炜 苏拉。
本标准于2019 年9 月28 日首次发布。
II
Q/GTS 2—2019
卷绕式磁控光学镀膜机
1 范围
本标准规定了卷绕式磁控光学镀膜机的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运
输和贮存。
本标准适用于卷绕式磁控光学镀膜机(以下简称镀膜机)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分:通用技术条件
SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
3 术语和定义
SJ/T 10478 界定的术语和定义适用于本文件。
4 要求
4.1 正常工作条件
4.1.1 温度: 20℃±10 ℃。
4.1.2 相对湿度: 不大于75 % 。
4.1.3 冷却水:进水温度不高于25 ℃,压力不低于O.3 MPa ,pH 值在6.5 ~8.5 范围内,硬度不大于
2.857 mg 当量/L,浮悬物含量不超过20 mg/L 。
4.1.4 供电电源:电压330 V 三相或220 V 单相,电压波动 ±10% ;频率50 Hz ,频率波动 ±2 % ;
4.1.5 镀膜机工作所需的氧气、氮气、氩气等的耗量、压力,按产品说明书的规定。
4.1.6 工作环境:空气洁净度等级及其他特殊要求按产品说明书的规定。
4.2 一般要求
4.2.1 镀膜机应按规定程序批准图样及技术文件制造,并应符合本标准的要求。
4.2.2 镀膜机的装配质量应符合制造厂技术文件的规定,装配时对工作中处于真空状态的各零部件表
面应进行有效的清洗处理并予以干燥,各运动件装配后应运动灵活平稳。
4.2.3 镀膜机中所配置的功能装置,均应逐项调试和联合调试,性能均应达到设计要求、运行可靠。
工件加热过程中设备应能正常运转。
4.3 外观要求
1
Q/GTS 2—2019
4.3.1 镀膜机的外观质量应没有非功能性需要的尖角、梭角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面边
沿应整齐匀称,不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固,无变质、脱落及生锈等现象。所有紧固件应
有防腐层。
4.3.2 镀膜机的涂漆表面应光洁、
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