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2/20/2020 高真空磁控溅射镀膜系统介绍 - 百度文库
镀膜实验报告
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高真空 控溅射镀膜系统介绍
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1.
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l 名称: 高真空磁控溅射镀膜系统
名称: 高真空磁控溅射镀膜系统
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l JGP560
l 型号:JGP560
型号:
l 6.60E-05 Pa
l 极限真空:6.60E-05 Pa
极限真空:
l 500 1
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最高可控可调温度: ℃( 个样品位)
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l 3 8
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个靶位, 个样品位
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2. 真空简介
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l 真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。在“真空”
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中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。
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事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份
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物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空
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