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仪器一级 (每 日)保养记录表
设备名称:二次元 VMS-1510F 设备编 : 使用部门: 品保部 年月:
日期 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
1 外观是否清洁
2 上光源是否正常
3 下光源是否正常
4 X、Y能否正常转动
5 工作台是否清洁
6 变倍镜头是否正常
7 测量瞄准基准是否正常
X 0
轴
50mm±3.6μm
(
↑ 100mm±4.3μm
↓
150mm±5μm
标 ) 200mm±5.7μm 、
8 准
片 Y 0
轴
20mm±3.3μm
(
↑ 60mm±3.8μm
↓
80mm±4.1μm
) 100mm±4.3μm
9 保养人
备注
注:除标准片每周校正一次外,其他需每 日维护。 QR-066B
正常…√ 不正常…× 休息…△
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