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半导体一氧化碳敏感材料研究进展
第4期
2007年12月
气象水文海洋仪器
Meteorological,HydrologicalandMarineInstruments
N0.4
Dec.2007
半导体一氧化碳敏感材料研究进展
熊力,吴展,
(1.大连x-,_ik大学信息工程学院,大连116034;
刘玉洁
2.长春气象仪器研究所,长春130012)
摘要:金属氧化物半导体由于具有耐热,耐腐蚀,成本低廉等特点,常用于制作气体传感器的敏感元件.本
文简要介绍了Sn02半导体材料,Ti02半导体材料作为一氧化碳敏感材料的最新研究进展.
关键词:一氧化碳敏感
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