微电机制造工艺概论(共 75张PPT)[文字可编辑].ppt

3 微电机中使用的专业工艺 微电机制造工艺中，除了机械 制造工艺外，还有用于微电机加工 的专用工艺，如热处理、绝缘、塑 压、表面处理、粘接等 3.1 热处理 ? 为改善轴、机壳等结构件的加工特能、 机械性能及尺寸稳定性需进行热处理。 ? 针对导磁材料，如冲片、机壳等，为了 改善其磁性能，也需进行必要的热处理。 3.1.1 分类及用途 ? a 、退火、正火 目的： ? 软化钢件，便于切削； ? 消除残余应力，防止变形、开裂； ? 细化晶粒、改善组织，提高钢的机械性 能或磁性能； ? 为最终热处理（淬火十回火）作准备； b 、调质 ? 可获得较好的综合机械性能，如轴的调 质一般在粗车后，精车（或磨）前进行。 c 、淬火 ? 目的是提高强度、硬度、耐磨性。在磨 前进行，电机上一般用的不多，常用表 面淬火，好齿轮表面淬火。 3.1.2 冲片的退火处理 ? a 、冷轧无取向硅钢 其电绝缘层耐热温度为 700~900 ℃，相 应退火温度为 650~680 ℃，属低温退火； ? b 、铁镍合金 例如： 1J50 、 1J79 ，退火温度为 1050~1150 ℃，属于高温退火。必须在 真空炉或氢气炉中进行，防止氧化。 3.1.2 机壳 ? 对控制类永磁直流电机机壳，作为导磁 材料，要进行退火处理。 ? 一般力能类电机可不进行退火处理。 3.2 绝缘处理 ? 绝缘既是电机可靠运行的可靠保证，又常常是 电机寿命最薄弱环节，是非常重要的，一旦绝 缘出了问题，电机将不能正常运转。 ? 绝缘材料一般指电阻系数在 1000 MΩcm 以上的 材料 ? 最基本的最常用分类方法是按耐热程度分级， Y A E B F H C 90 105 120 130 155 180 ＞ 180 ℃ 3.2.1 槽绝缘 ? a 、各种复合薄膜材料，下线前嵌入槽内， 高出铁心端面 0.5mm 。 ? b 、熔槽绝缘 ? c 、刷涂绝缘 3.2.2 绕组绝缘 目的是提高绕组以下几方面的性能： ? a 、机械性能 ? b 、耐热性 ? c 、导热性 ? d 、绝缘强度 ? e 、耐潮性 ? f 、化学稳定性 3.2.2.1 浸化的方法及设备 ? a 、沉浸 常压浸（一般浸漆）：用于线径较粗，匝数少、槽满 率低的绕组浸漆。 真空浸：用于控制类微电机及线径细、匝数多、槽满 率高的电机。 ? b 、滴浸 常在半自动及全自动滴漆设备上进行。 必须采用无溶剂漆，主要原因是能迅速固化。 3.2.2.2 绝缘浸漆的工艺过程 ? 浸漆的工艺过程主要包括： ? a 、预热 ? b 、浸漆 ? c 、烘干 ? d 、检验 一种常压浸漆工艺（ A30-1 ） ? 1 、工件烘干 60 ± 5 ℃， 2~4h ? 2 、浸漆 工件温度 50~80 ℃，漆液面高于工件，浸 至无气泡止，约 15~20min ? 3 、控漆 约 0.5~1h ，控干为止，室温进行。 ? 4 、擦漆 擦除多余的漆 ? 5 、烘干 低温 70~80 ℃， 2~4h ； 高温 120~130 ℃，约 8h （视工件大小而定， 以热态绝缘电阻稳定 2h 以上为准） ? 6 、检查 按图纸、工艺及半成品检验规范进行 3.2.3 绕组的绕注绝缘 ? 直流无刷定子环氧浇注 —— 定子通孔式； ? 直流力矩电机转子与换向器一起浇注； ? 常用真空浇注。 3.3 表面处理 微电机中有许多零件需要进行 表面涂覆处理，其目的是提高表面 的防护性能及装饰效果。 3.3.1 表面金属镀层 ? a 、电镀 —— 最广泛使用的方法 ? b 、化学镀 ? c 、表面合金化，如渗氮等。 3.3.2 表面化学处理 ? 钢件的氧化：发蓝 ? 铜及合金的钝 化：工件浸入铬酸盐形成 钝化层，防护作用增强。 3.3.3 表面涂漆 ? 目的：防锈、防腐、绝缘、装饰 ? 涂漆方法：常用刷涂、喷涂、浸漆等 ? 较先进的工艺： 静