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扫描电镜的基本工作原理
及主要图象方式
引言
、仪器发展简史
扫描电子显微镜成象原理
、扫描电镜的几种主要图象方式
四、仪器的简单结构
五、仪器的特点
引言
在当代迅速发展的科学技术中,科学家需要观察、分析和
正确地解释在一个微米(μm)或亚微米范围内所发生的现象,
扫描电镜和电了探针是两个强有力的仪器,可用它们观察和
检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、亚微米局部
范围内的表面特征。在历史上,扫描电子显微镜(SEM)和电
子微探针(EPMA)被看作是各自独立的二种仪器(图1图2)
虽然在外观上这是明显的,然而这两种仪器的基本原理却是
十分相似的。都用一束精细聚焦的电子照射需要检测的区域
或是需要分析的微体积,该电子東可以是静止的,或者沿着
样品表面以一光栅的方式扫描。其差别仅仅在于它们感兴趣
的信号不同。
在扫描电镜(SEM)中,人们最感兴趣的信号是二次电
子和背散射电子,因为当电子束在样品表面扫描时,这些信
号随表面形貌不同而发生变化。二次电子的发射局限于电子
束轰击区附近的体积内,因而可获得相当高分辨率的图象
象的三维形态起因于扫描电镜的大景深和二次电子反差的阴
影起伏效果。象的三维形态起因于扫描电镜的大景深和二次
电子反差的阴影起伏效果。其它的信号在许多情况下也同样
有用。在通常称为电子探针的电子探针显微分析仪(EPMA)
中,人们最感兴趣的辐射是由于电子轰击而发射的特征X射线,
从特征ⅹ射线的分析能够得到样品中直径小到几微米区域内的
定性和定量成分信息
图1JXA-50A电子探针
图2JSM-840扫描电镜
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