高分辨衬度原理和像计算.ppt

高分辨电子显微像衬度理论和 像计算  回顾 振幅衬度(质厚衬度、衍射衬度):当试样 厚度降低到一定值,振幅衬度产生的像强 度差异不足以区分试样的不同区域 透射电子显 微像衬度 相位衬度(10nm以下):利用电子束在试样出 射面上的相位不一致,使相位差转换成强度 差而形成衬度。若利用相干电子束成像即为 高分辨像。  顾 相位差的产生 电了束 试样周期性势场 电子束能量改变 电子波矢量改 pp(r, y) △k,产生相位 衬度传递函数 相位物与弱相位物近似 相位物:简单的说就是电子束通过该物体只改变相位不改变振幅。此时透射波 函数为 弱相位物:将上式进行泰勒晨2=exp-ia(y) up(xy)-l-iapr(xy) )-=2o+o 在相位物近似下,不同散射波之间的相互干涉仍将导致多重弹 和非线性 应,使显微像与样品投影势之间呈现复杂关系。进一步近似,只 i忽略由于多重散射带来的高阶项即为弱相位物近似,此时波函数与投影势成线 性关系。 p (xy)=l-iov, (ry)  简单点阵条纹像 一维点阵条纹像 三种成像模式 阵殿 1.电子東沿光轴入射,使透 射束和一束衍射束干涉成 2.电子束沿光轴倾斜一布拉 A / 格角,透射束和一束衍射 束对称的处于光轴两边, 干涉成像 3.电子束沿光轴入射,物镜 八八A光阑允许透射束和+9  简单点阵条纹像 维点阵条纹像与x(n) 试样出射衍射束的复振幅为: 小,A,0exp(i) 偏离参量趋于零时的像振幅记为 简化问题,取衍射矢量为(h,o,o),则针对第一种成像模式: v(x)=o+%,0, exp( ie )exp(-i 2mhz r(x)=v.=2+0-2++0.0i(2x生-x(m) 当物空间有一维周期性(周期为a)时,想以周期为a/h的正弦强度分布, 呈条纹像衬度。凡是使 波动的因素,都会降低条纹分辨率。如:加 速电压、励磁电流的改变