LCD行业-多晶硅TFT及其在AMLCD中的应用（PDF 5页）.pdf

多晶硅 TF T 及其在 AML CD 中的应用 摘要 :多晶硅薄膜晶体管目前是大面积微电子学领域中最热门的研究课题之一 ,它以其独特的优 点 ,在液晶显示领域中扮演着重要角色。简要介绍了多晶硅薄膜晶体管的结构、器件特性以及在 有源矩阵液晶显示器中的应用。 关键词 :多晶硅 ;薄膜晶体管 ;有源矩阵 ;液晶显示器 ( ) 中图分类号: TN321. 5 　文献标识码 :A 　文章编号 :1005 - 3077 2000 - 04 - 46 - 05 Poly - Si TFT and Its Application in AMLCD RAO Rui 　XU Zhong - yang 　WAN G Chang - an ZEN G Xiang - bing 　ZHAO Bo - fang 　ZHOU Xue - mei (Department of Electronics Science and Technology , Huazhong University of Science and Technology , Wuhan 430074) Abstract :At present , polycrystalline silicon thin film transistor has been the most popular subject in the field of large area electronics , and has played a dominant role in the area of liquid display. In this pa per , the structure , properties of polycrystalline silicon thin film transistor were explained , and its appli cation in the active matrix liquid display device was described. Key words : polycrystalline silicon ; thin film transistor ; active matrix ; liquid crystal display (LCD) 引　　言 　　在以信息高速公路与多媒体通讯为标志的现代信息社会中 ,信息显示技术得到了飞速 发展 ,全球市场对其产品性能提出了非常高的要求 ,如大屏幕、高清晰度、全彩色、低电压驱 动、携带轻便、薄板型等。由此发展了各种平板显示器件。其中有源矩阵液晶显示器 (AMLCD) 以其显示信息量大、色彩丰富、图象逼真、响应速度快、功耗低和携带方便等优点, 占据了大部分平板显示市场,在袖珍式电视、笔记本电脑、壁挂电视及投影电视等领域获得 了广泛的应用[1～3 ] 。 ( ) 　　目前在 AMLCD 中 ,其寻址开关元件主要采用非晶硅薄膜晶体管 a - Si TFT 和多晶硅 ( ) 薄膜晶体管 p - Si TFT 。a - Si TFT 由于具有制备工艺简单,容易大面积制作和漏电流小 ( 2 ) 等特点 , 曾经是研究的焦点;但 a - Si 固有的低的载流子迁移率 0. 1 ～1cm / V ·S ,使它在 实现大屏幕高清晰度显示方面存在着难以克服的困难。而 p -