SJ_T11763-2020半导体制造设备人机界面规范.pdf

ICS 31-550 L95 备案号 SJ 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ/T XXXXX—XXXX 半导体制造设备人机界面规范 Specification for Human Interface for SemiconductorManufacturing Equipment （报批稿） XXXX- XX- XX发布 XXXX- XX- XX实施 中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部 发 布 SJ/T XXXXX—XXXX 前 ?? 言 本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ TC 203）提出并归口。 本标准起草单位： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、 工业和信息化部电子工业 标准化研究院、 北京七星华创电子股份有限公司、 东莞市中镓半导体科技有限公司、 秦皇岛视听机械研 究所、上海微电子装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备（上海）有限公 司。 本标准主要起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳、丁晓民、李臣友、杨刚、张伟敏、李天笑、王海涛、 何茂栋、郭训容、孙永健、何乐。 Ⅰ SJ/T XXXXX—XXXX 半导体制造设备人机界面规范 1 范围 本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。 本标准适用于半导体制造设备。 其它领域如平板显示器制造设备也可参考本标准， 但不在本标准适 用范围之内。 注 1： 本标准中的图均为示意图，未给出比例。除非特别规定，示意图未给出按钮、按钮大小及面 板大小等详细信息。 注2： 本标准不涉及在标准应用过程中产生的安全问题。在使用本标准之前，标准使用者有责任建 立适当的安全和健康实务，并确定管理的适用性及其它限制条件。 2 术语 2.1 显示对象 display objects 显示在屏幕上的用户界面元素称为显示对象， 例如功能选择按钮、 键盘输入按钮以及表示设备的图 形等。 2.2 图标 icon 图标是一种位图或其它格式图像，可以使用在视窗系统等图形用户界面环境下表示不同类型的对 象，提高可操作性，帮助用户更好的理解按钮功能。 2.3 导航模型 navigation model 在与系统交互过程中，引导用户完成功能操作和信息获取。 2.4 场景 condition 显示对象的属性或值 （文本或数字） 的一种可视化表示方式。 如果显示对象的当前状态或值超出了 规定的正常操作状态或参数的边界，无论这种异常是轻微的（提醒）或者严重的（警告）都需要使用可 视化表示，如无异常发生则不需要使用可视化表示。 2.5 功能区 function area 根据呈现给用户的信息