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多晶硅锭定向凝固生长方法;实现多晶硅定向凝固生长的四种方法:
布里曼法
热交换法
电磁铸锭法
浇铸法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.1 铸锭浇注法;8.5.2 定向凝固法;
定向凝固柱状晶生长示意图;
多晶硅锭的柱状晶结构;一般来说,纯金属通过定向凝固,可获得平面前沿,即随着凝固进行,整个平面向前推进,但随着溶质浓度的提高,由平面前沿转到柱状。
对于金属,由于各表面自由能一样,生长的柱状晶取向直,无分叉???
而硅由于是小平面相,不同晶面自由能不相同,表面自由能最低的晶面会优先生长,特别是由于杂质的存在,晶面吸附杂质改变了表面自由能,所以多晶硅柱状晶生长方向不如金属的直,且伴有分叉。
;8.5.2 定向凝固法;布里曼法(Bridgeman Method)
这是一种经典的较早的定向凝固方法。
特点:
坩埚和热源在凝固开始时作相对位移,分液相区和凝固区,液相区和凝固区用隔热板隔开。
液固界面交界处的温度梯度必须>0,即dT/dx>0,温度梯度接近于常数。
;长晶速度受工作台下移速度及冷却水流量控制,长晶速度接近于常数,长晶速度可以调节。
硅锭高度主要受设备及坩埚高度限制。
生长速度约0.8-1.0mm/分。
缺点:炉子结构比热交换法复杂,坩埚需升降且下降速度必须平稳,其次坩埚底部需水冷。
; 坩埚
热源
硅液
隔热板
热开关
工作台
冷却水
固相
固液界面
液相
布里曼法示意图;热交换法
是目前国内生产厂家主要使用的一种炉型。
特点:
坩埚和热源在熔化及凝固整个过程中均无相对位移。一般在坩埚底部置一热开关,熔化时热开关关闭,起隔热作用;凝固开始时热开关打开,以增强坩埚底部散热强度。长晶速度受坩埚底部散热强度控制,如用水冷,则受冷却水流量(及进出水温差)所控制。;由于定向凝固只能是单方向热流(散热),径向(即坩埚侧向)不能散热,也即径向温度梯度趋于0,而坩埚和热源又静止不动,因此随着凝固的进行,热源也即热场温度(大于熔点温度)会逐步向上推移,同时又必须保证无径向热流,所以温场的控制与调节难度要大。
液固界面逐步向上推移,液固界面处温度梯度必须是正值,即大于0。但随着界面逐步向上推移,温度梯度逐步降低直至趋于0。
热交换法的长晶速度及温度梯度为变数。而且锭子高度受限制,要扩大容量只能是增加硅锭截面积。
最大优点是炉子结构简单。
;
热源
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