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微电子工艺(哈尔滨工业大学)
中国大学MOOC慕课 章节测验期末考试答案
第1章 硅片的制备
1
单选(1分)
?在硅片晶向、掺杂类型介绍中,由硅片断裂边形成的角度是60o可知硅片是什么晶向?
?
A.(100)
B.(111)
C.(110)
D.(211)
正确答案:B
解析:??B、硅的解理面是(111),在(111)面上两[111]晶向相交呈60?o
2
多选(1分)
?关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确
A.可以多次缩颈
B.为了能拉出与籽晶相同的硅锭
C.为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸
D.为
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