绝缘体上硅波导质量对马赫–泽德尔干涉仪光学性能的影响Quality Effect of Silicon-on-Insulator Waveguides on Optical Specifications of Mach-Zehnder Interferometer Construction-来源:应用物理(第2022001期)-汉斯出版社.pdfVIP
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Applied Physics 应用物理, 2022, 12(1), 28-34
Published Online January 2022 in Hans. /journal/app
/10.12677/app.2022.121004
绝缘体上硅波导质量对马赫–泽德尔干涉仪光
学性能的影响
刘 川,陈 晨,孙德贵*
长春理工大学物理学院,吉林 长春
收稿日期:2021年12月21 日;录用日期:2022年1月20 日;发布日期:2022年1月27 日
摘 要
SOI波导被公认为光子集成电路(PI
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