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本发明的温度调节单元(1)包括:温度调节单元本体(2);温度调节部(3),其设置在温度调节单元本体(2)的内部,对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温;以及薄膜测温电阻部(4),其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内,并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧,由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113853513 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202080037185.7 (74)专利代理机构 北京律和信知识产权代理事
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