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本实用新型公开了一种铝管柱状电极等离子腔体,所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组,每对铝管组上下相邻设置,铝管组包括多根铝管,多根铝管一字排列,铝管一端固定在箱体一侧内壁,铝管另一端穿过箱体另一侧壁,铝管的末端均通过电极板相连接;箱体背面设置有抽真空口;箱体正面通过铰链转动连接有箱门,箱门自由端设置有门锁,箱门上设置有进气孔。本实用新型通过多对铝管组的排列结构设计,提高了反应气体的流动性,增加了清洗的均一性。本设计结构合理、易于维护、清洗效果好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209914160 U
(45)授权公告日
2020.01.07
(21)申请号 20192
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