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本发明的实施例提供了用于镀铜的组合物以及使用该组合物制造含铜导体的方法。用于镀铜的组合物包含铜盐、酸性化合物或其盐、氯离子源和由特定化学式1表示的流平剂。通过使用该用于镀铜的组合物的电镀工艺能够形成具有较低的表面粗糙度、改善的表面平整度和厚度均匀性的铜镀膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116516427 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202211131577.7
(22)申请日 2022.09.15
(30)优先权数据
10-2022-0009049
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