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本发明的实施例提供一种镀铜用组合物以及使用该组合物制造含铜导体的方法。镀铜用组合物包括:铜盐、酸性化合物或其盐、氯离子源、以及包含由特定化学式1表示的化合物的流平剂。可以通过使用所述镀铜用组合物的电解镀工艺形成具有高表面平坦度和厚度均匀性的铜镀膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116516426 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202211123094.2
(22)申请日 2022.09.15
(30)优先权数据
10-2022-0009065
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