- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种氮化硅密封环表面的金刚石涂层的制备方法,包括以下步骤:S1、超声清洗:采用清洗剂对氮化硅密封环表面超声清洗;S2、预形核处理:将纳米金刚石粉和辅助成分、乙醇混合,得到悬浊液对氮化硅密封环表面超声处理;S3、热丝预处理:对热丝碳化处理;S4、沉积:在氮化硅密封环表面,通过热丝在反应气体中沉积至少一层金刚石涂层;反应气体包括碳源气体和辅助气体,在沉积过程中逐渐增加碳源气体的流量。本发明提高金刚石涂层和氮化硅密封环的结合力以及涂层表面光洁度,并提高涂层的耐磨性能和耐腐蚀性能,整体提高了密
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116536760 A
(43)申请公布日 2023.08.04
(21)申请号 202310448102.9
(22)申请日 2023.04.24
(71)申请人 苏州热工研究院有
您可能关注的文档
最近下载
- 2023年石家庄国控城市发展投资集团有限责任公司招聘笔试题库及答案解析.doc
- 生物信息学外文文献Development of Bioinformatics Infrastructure for Genomics Research.pdf
- 毕业设计之隧道衬砌.docx
- 融优学堂人群与网络(北京大学)章节测验答案.docx
- 四川省泸州市泸县2023年小升初语文试卷(含答案).pdf VIP
- 南通访学汇报讲座 PPT课件.ppt
- 2023年青海省西宁市中考化学试卷.docx
- 一种耐磨落煤管.pdf VIP
- 附件1:《输变电工程建设现行主要质量管理制度、施工与验收质量标准目录》(2022版)-征求意见稿.doc
- 运动治疗技术课程标准.docx
文档评论(0)