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本发明公开了一种生产粒状多晶硅的方法及装置,从流化床反应器底部通入氢气及含硅气体,同时在流化床反应器上部通入小颗粒的硅籽晶,通过含硅气体的裂解,生成硅单质并在硅籽晶表面沉积,形成粒状多晶硅,尾气从流化床反应器顶部排出;所述含硅气体的裂解采用外部微波发射装置向流化床反应器内发射微波进行加热,通过微波将流化床反应器内的硅籽晶快速加热达到含硅气体的裂解温度,使硅籽晶周围的含硅气体裂解;流化床反应器筒壁上设置冷凝装置对内壁上的热量进行回收,用于预热原料气体。该方法通过微波对流化床内的籽晶直接加热生产粒状
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117105230 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311080524.1
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 乐山协鑫新能源科技有限公司
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