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本实用新型公开了一种晶圆夹持旋转机构,属于半导体检测领域,其包括:旋转台,包括旋转本体和转盘;多个活动夹持件,与转盘相接,并可移至夹持状态或松开状态;顶升组件,设置在旋转本体上,且位于转盘下方;传动组件,包括传动杆和传动环,传动杆可沿着转盘的轴线方向活动地穿设于转盘中,传动杆的上端与活动夹持件传动配合,传动环承载于顶升组件上,并与传动杆的下端固定连接;复位结构,用于提供驱使活动夹持件移向夹持状态的作用力;传动杆适于在顶升组件的顶升下沿转盘的轴线方向上升,并推动活动夹持件由夹持状态切换至松开状态。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220510000U
(45)授权公告日2024.02.20
(21)申请号202420079123.8
(22)申请日2024.01.12
(73)专利权人苏州赛腾精密电子股份有限公司
地
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