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本发明涉及一种用于电子元件表面检测的检测台,包括:具有水平横向和纵向自由度的检测基座;旋转安装在所述检测基座上的支撑台;设置在所述支撑台上的角度调整支座;以及用于装夹固定待测工件的工件装夹单元,其安装在所述角度调整支座上并可被角度调整支座带动在竖直平面内来回摆动。与现有技术相比,本发明可以方便配合显微影像等对电子元件表面进行多角度、多位置的检测观察。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117607153A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311793209.3
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人上海庆良电子有限公司
地址20
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