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分步重复光刻机项目可行性建设方案
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分步重复光刻机项目可行性建设方案
目录
TOC\h\z1528前言 3
4137一、项目选址研究 3
29158(一)、项目选址原则 3
20398(二)、项目选址 6
24969(三)、建设条件分析 8
19921(四)、用地控制指标 10
31006(五)、地总体要求 11
26046(六)、节约用地措施 12
22392(七)、选址综合评价 14
4584二、分步重复光刻机项目概论 15
20587(一)、项目申报单位概况 15
13660(二)、项目概况 16
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