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- 2024-04-03 发布于四川
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- | 2024-03-15 颁布
- | 2024-10-01 实施
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ICS31.030
CCSL90
中华人民共和国国家标准
/—
GBT437722024
电子气体二氧化碳
—
ElectronicasCarbondioxide
g
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT437722024
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
:、、
本文件起草单位河南心连心深冷能源股份有限公司昊华气体有限公司西南分公司浙江泓芯半
、()、、
导体有限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司华测检测认证集团股份有限公司浙江海畅气
、、、、
体股份有限公司福建德尔科技股份有限公司广东华特气体股份有限公司金宏气体股份有限公司
、、、
江西华特电子化学品有限公司重庆瑞信气体有限公司北京高麦克仪器科技有限公司大连华邦化学
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有限公司湖南凯美特气体股份有限公司三峡大学湖北和远气体股份有限公司重庆同辉气体有限公
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司兰州裕隆气体股份有限公司深圳高发气体股份有限公司上海启元气体发展有限公司浙江省计量
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