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本实用新型公开了一种磁钢及磁控溅射设备。本实用新型的磁钢包括主体和磁铁组。主体具有设定的长度和宽度,主体设置有容置槽,容置槽沿长度方向延伸,主体由金属制成;磁铁组包括多个磁铁,多个磁铁容置于容置槽内并沿长度方向依次设置;其中,由主体沿长度方向的两端向中间的方向,主体的屏蔽效能降低。磁铁组容置于容置槽中,并且主体的屏蔽效能由主体长度方向的两端向中间的方向降低,使磁钢两端与中间部分的磁场强度得到均衡,即端部的磁钢端部的磁场强度降低,而中间部分的磁场强度提升,从而在磁钢应用于磁控溅射设备时使靶材中间部
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220788758U
(45)授权公告日2024.04.16
(21)申请号202322450954.X
(22)申请日2023.09.08
(73)专利权人东莞南玻智能装备制造有限公司
地
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