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本申请涉及光刻胶领域,具体公开了一种KrF正性光刻胶及其制备方法。KrF正性光刻胶包括以下质量份的各原料:丙烯酸酯共聚树脂40‑60份、酚醛树脂5‑10份、光致酸产生剂0.2‑1份、改性二氧化硅3‑10份、有机碱0.01‑5份、表面活性剂0.01‑2份、溶剂200‑300份;其制备方法为:包括以下步骤:按配比,将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛树脂、光致酸产生剂、纳米微粒、有机碱、表面活性剂、溶剂混合均匀,得到KrF正性光刻胶。本申请的KrF正性光刻胶具有粘附性好,光刻图形质量较佳的优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117908329A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311838645.8
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人瑞红(苏州)电子化学品股份有限公
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