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本发明公开了一种原子力探针逼近控制方法、系统及电子设备,涉及原子力显微镜技术领域。方法包括移动粗定位位移台处于第一位置,获取激光测距系统与待测样品表面的标志点的第一Z向距离;以X向相对距离步长和Y向相对距离步长,使原子力探针沿X方向和Y方向中靠近标志点的方向移动;确定第一Z向距离与Z向精细位移下降距离的差值与第一中间量与Z向相对距离的差值的绝对值为第二Z向距离,进而控制移动粗定位位移台的下降速度和纳米位移台的精细定位,直至原子力探针与标志点的接触力达到接触力设定值。本发明基于激光测距系统,能够提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117907638A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410074960.6
(22)申请日2024.01.18
(71)申请人中国特种设备检测研究院
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