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本发明公开了一种超薄晶圆镀膜承载组件,属于晶圆镀膜技术领域,其包括:用于安装的定位架,其一侧固定有密封盘;与密封盘相密封配合的上端盖,上端盖上圆周开设有多个定位孔,密封盘上竖直插接有多个导轴,导轴与各定位孔相滑动连接,密封盘与上端盖配合形成镀膜腔;同轴设置在密封盘内的载放机构,其上端面通过负压吸附作用将超薄晶圆水平放置;设置在定位架一侧的温控器,温控器与载放机构相连通构成流动回路;本发明中的载放机构能够提供超薄晶圆底部吸附固定,从而在镀膜中镀膜蒸汽能够对晶圆上表面正常镀膜,提高镀膜整体性;还设置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117904589A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410109729.6
(22)申请日2024.01.26
(71)申请人常州市好利莱光电
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