测试方法部分二章.pdfVIP

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2.2电子与物质间的相互作用

具有一定能量的电子，当其照射

固体样品时，将与样品内原子核和

核外电子发生弹性和非弹性散射过

程，激发固体样品产生多种物理信

号。

特征X射线

1背散射电子

背散射电子是入射电子进入试样，受到

表层原子（0.1～1μm深度范围内）的弹

性散射和非弹性散射后从试样表面逸出的

电子。

背散射电子是被试样表面反射回来的一

部分入射电子。

有的电子经一次散射就逸出表面，

有的电子经多次散射才反射出来。

背散射电子的能量比较高(大于

50eV)，

该用户很懒，什么也没介绍

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