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金刚石膜工具项目可行性研究方案
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金刚石膜工具项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z7308序言 3
6341一、金刚石膜工具项目建设内容 3
17258(一)、建筑工程 3
10242(二)、电气、自动控制系统 5
17750(三)、通用及专用设备选择 6
25076(四)、公共工程 8
27772二、工艺方案的选择 9
12588(一)、基本要求 9
26101(二)、典型工艺技术介绍 11
28675(三)、金刚石膜工具项目组成 12
1483(四)、工艺技术方案的选择 13
24840(五)、工
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