智研产研中心发布：半导体检测仪器产业百科（附行业壁垒、竞争格局、发展现状分析及未来趋势预测）.pdf

半导体检测仪器

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智研产业百科·产业研究第一站/半导体检测仪器/

半导体检测仪器

一、定义及分类1

二、行业政策2

1、主管部门和监管体制2

2、行业相关政策2

三、发展历程4

四、行业壁垒5

1、技术壁垒5

2、人才壁垒5

3、资金壁垒5

五、产业链6

1、行业产业链分析6

2、行业领先企业分析7

（1）武汉精测电子集团股份有限公司7

（2）杭州长川科技股份有限公司8

六、行业现状9

七、发展因素10

1、有利因素10

（1）国家产业政策的大力支持10

（2）晶圆厂、封测厂的扩产10

（3）技术不断创新10

2、不利因素10

（1）宏观经济波动风险10

（2）产品质量风险11

（3）市场需求无法把握11

八、竞争格局12

九、发展趋势13

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一、定义及分类

半导体检测仪器是指用于半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷的专用仪器。根据使用的环节以

及检测项目的不同，可分为前道检测和后道检测。其中，前道量检测包括量测类和缺陷检测类，主要

用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在

影响良率的缺陷，属于物理性检测；后道测试分为封装前晶圆测试和封装后成品测试，使用设备包括

分选机、测试机、探针台，目的是检查芯片的性能是否符合要求，属于电性能检测。

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二、行业政策

1、主管部门和监管体制

半导体检测仪器行业主管部门包括国家工业和信息化部、科技部等。其中国家工业和信息化部主

要负责研究拟订信息化发展战略、方针政策和总体规划；推动产业结构战略性调整和优化升级；拟订

本行业的法律、法规，发布行政规章，组织制订行业的技术政策、技术体制和技术标准，并对行业的

发展方向进行宏观调控。科技部主要负责拟定国家创新驱动发展战略方针以及科技发展、引进国外智

力规划和政策并组织实施；牵头建立统一的国家科技管理平台和科研项目资金协调、评估、监管机构；

拟订国家基础研究规划、政策和标准并组织实施；编制国家重大科技项目规划并监督实施；牵头国家

技术转移体系建设，拟订科技成果转移转化和促进产学研结合的相关政策措施并监督实施等。

中国半导体行业协会是行业的自律性组织，其主要负责贯彻落实政府有关的政策、法规，向政府

业务主管部门提出本行业发展的经济、技术和装备政策的咨询意见和建议；做好信息咨询工作。调查、

统计、研究、预测本行业产业与市场，及时向会员单位和政府主管部门提供行业情况调查、市场趋势、

经济运行预测等信息，做好政策导向、信息导向、市场导向工作等。

2、行业相关政策

近年来，随着半导体产业的不断发展，半导体检测仪器逐渐得到国家政府的高度重视，出台了一

系列政策和措施。如2022年12月，中共中央、国务院发布《扩大内需战略规划纲要（2022－2035

年）》，其中提到加快构建国家现代先进测量体系，加强检验检测体系建设，持续提高产品和服务质

量。2023年8月，国务院发布《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》中，提出发挥好市场

导向、企业主体、产学研深度融合优势，瞄准集成电路设计、软件开发、封测及中试、第五代移动通

信（5G）等，加快建设5G中高频器件测试、先进显示研发验证、集成电路科研试验、高端芯片设计

验证、半导体先进封测、微机电系统研发、机器人检测认证等中试公共服务平台，开展产业链关键技

术攻关，加快实现信息产业前沿共性技术