高解析度穿透式電子顯微鏡第四章.pdf

High Resolution Transmission Electron Microscopy (HRTEM) 組長：許宏泰組長：許宏泰 組長：許宏泰組長：許宏泰 組員：徐英展組員：徐英展 組員：徐英展組員：徐英展 陳志立陳志立 陳志立陳志立 謝明勳謝明勳 謝明勳謝明勳 第㆕章 ( High-Resolution Transmission Electron Microscopy, HRTEM) 徐英展 簡介與原理- 陳忠立 -儀器介紹 謝明勳 - 分析方法 許宏泰 -材料分析應用 History of Electron Microscope History of Electron Microscope 主要可分為㆔個階段[1-2] ： ㆒、 發現電子 J. J. Thomson (1897) →→ Louis de Bröglie 類似光波的性質 →→ 、 、 (1924) →→ E. Schrödinger Germer H. Busch →→ 分別進㆒步研究磁場或電場㆗電子束的行為 。 ㆓、㆓、E. Rüska與M. Knoll (1926~1929) ㆓、㆓、 效的聚焦作用 發表第㆒部穿透式電子顯微鏡 (1931) →→ Rüska (1934) →→ 和 改良 →→ Driest Muller Rüska →→ 的光學顯微鏡 (1935) 。 ㆔、 和 為德國 及 B. von Borries E. Rüska Siemens Halske 商業化磁界型電子顯微鏡 、 顯微鏡之解像力達 (1938) → Von Ardenne Hillier 10 Å(1946) → 電子顯微鏡之解像力可達 2 Å 。 Introduction of EM Introduction of EM 電子顯微鏡電子顯微鏡 電子顯微鏡電子顯微鏡 產生之訊號來鑑定物質構造及細微結構的精密儀器。 HRTEM = TEM(電壓 >100 KV) 圖 電子與物質作用所產生的訊號 。 1. [2] Diffraction of Electron Diffraction of Electron 由 Louis de Bröglie 速度㆘的波長關係為： h λ = (1) p 其㆗，λ 表電子波長，p 表電子動量，而h 表Planck 施予㆒加速電位E時，