- 1、本文档共18页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
蚀刻速率的影响因素及操作
蚀刻速率影响因素;影响蚀刻速率的因素;蚀刻原理;比重对蚀刻速率的影响;现蚀刻工艺的比重设定值为1.30。
在现有的条件基础上,提高比重到1.305-1.31之间,可提高单位时间的蚀刻速率。;ORP值对蚀刻速率的影响;蚀刻温度对蚀刻速率的影响;蚀刻温度改变的其他影响;游离盐酸量对蚀刻速率的影响; Cl-提高蚀刻速率的原因
CuCl+2Cl-=(CuCl3)2-
提高Cl-浓度可显著提高蚀刻速率。;
;不同浓度的游离酸的影响; chemcut给的蚀刻参数
ORP 540mv to 560mv
游离酸 1N to 2N
比重 32?Be (1.28) to 34?Be(1.31)
温度 130?F(54?C)
实际使用数值
ORP 550±20mv
游离酸 1.45N(配槽值)屏显值 1.15N
比重 1.28 to 1.30
温度 130?F(54?C)
其他资料数值
ORP >530mv
??离酸 <6N(2-3N)
比重 1.300
温度 40?C to 55?C;检测方法;药水的喷压;蚀刻提速可能调节的参数;蚀刻提速的局限性;蚀刻速度调节测试操作
您可能关注的文档
- 苏教版小学科学四年级上册空气的性质 第一课.ppt
- 苏教版小学语文一年级上册jqx.ppt
- 苏教版小学语文三年级下册水上飞机课件.ppt
- 苏教版小高考化学复习资料_.doc
- 苏教版必修1各单元标准大考卷及答案.doc
- 苏教版数学二年级下册《认识方向》最新精品优质课PPT多媒体课件.ppt
- 苏教版数学五年级上册《认识负数(一)》PPT课件之一.ppt
- 苏教版数学五年级上册《认识负数(一)》公开课PPT课件.ppt
- 苏教版数学四年级上册《找规律》PPT课件之一.ppt
- 苏教版科学五上3-5电磁铁.ppt
- GB/T 29324-2024架空导线用碳纤维增强复合材料芯.pdf
- 《GB/T 29324-2024架空导线用碳纤维增强复合材料芯》.pdf
- GB/T 43905.1-2024焊接及相关工艺中烟尘和气体取样的实验室方法 第1部分:电弧焊中烟尘排放速率的测定和分析用烟尘的收集.pdf
- 《GB/T 43905.1-2024焊接及相关工艺中烟尘和气体取样的实验室方法 第1部分:电弧焊中烟尘排放速率的测定和分析用烟尘的收集》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 43905.1-2024焊接及相关工艺中烟尘和气体取样的实验室方法 第1部分:电弧焊中烟尘排放速率的测定和分析用烟尘的收集.pdf
- 中国国家标准 GB/T 18910.21-2024液晶显示器件 第2-1部分:无源矩阵单色液晶显示模块 空白详细规范.pdf
- GB/T 18910.21-2024液晶显示器件 第2-1部分:无源矩阵单色液晶显示模块 空白详细规范.pdf
- 《GB/T 18910.21-2024液晶显示器件 第2-1部分:无源矩阵单色液晶显示模块 空白详细规范》.pdf
- GB/T 43860.1220-2024触摸和交互显示 第12-20部分:触摸显示测试方法 多点触摸性能.pdf
- 中国国家标准 GB/T 43860.1220-2024触摸和交互显示 第12-20部分:触摸显示测试方法 多点触摸性能.pdf
文档评论(0)