真空基础知识课件.ppt

1. 真空基础知识 真空：低于一个大气压的气体状态。 1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验，获得真空。 自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇 宙空间。 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。 真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 1mbar=100Pa 真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 真空技术的应用 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。 1.2 真空泵基本原理介绍 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 >p2，实现了抽气。 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵和吸气剂泵。 真空泵的主要参数 抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为： 其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。 泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。 真空泵的主要参数 极限压强 (极限真空) 最高工作压强 工作压强范围（ ） 泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 萝茨泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵 工作过程是： 吸气—压缩—排气。 定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 主要参量是： 抽速和极限压强。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 1.2 真空泵基本原理介绍 1.2 真空泵基本原理介绍 1.2 真空泵基本原理介绍 1.2 真空泵基本原理介绍 罗茨泵极限压力为5*10-3mbar， 正常工作压力范围为5*10-2mbar， 它的进气口压力为10mbar。 3. 油扩散泵 是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 开机 对各接头法郎快速粗喷He气 ； 找到最大漏处，用袋子加100%He气，调节测量范围，读出漏率； 对怀疑处逐点喷气5~6秒，并隔离检查 * * 林越展 2006-05-29 1.1 真空基础知识 1.1 真空基础知识 1.1 真空基础知识 1.1 真空基础知识 1.2 真空泵基本原理介绍 1.2 真空泵基本原理介绍 1.2 真空泵基本原理介绍 气体传输泵 气体捕获泵 1.2 真空泵基本原理介绍 1. 旋片机械泵 几种常用真空泵的工作原理 旋片式机械泵 1.2 真空泵基本原理介绍 2. 罗茨泵 实物图 萝茨泵主要腔室模型 2. 罗茨泵 工 作 原 理 图 1 大齿轮 2 轴承 3 密封圈 4 抽气口 5 转子 6 油密封圈 7 注油壶 8 连接器 9 马达 10驱动轴 11圆形离心润滑器 12出气口 13 导油管 14 起重机眼 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器 1.2 真空泵基本原理介绍 1.3 真空保养 1. 真空检漏 没有一种真空设备能够完全密封，做不到也没 有必要完全密封； 造成的漏点包括：焊接、法兰、盖板、工艺气 体管道等； 只要达到而且能够保持达到我们所需的真空工 艺，就能满足生产需要。 1.3 真空保养 2.检漏步骤 注意: 进行检漏前，必须先关闭所有的放气阀等进气部件 He气:氦气为无色无味，不可燃气体，空气中的含量约为百万分之5.2 . /view/470626.htm?fr=ala0_1_1 *